PXle插卡式源表
S2019C
四通道 PXIe 精密電源/測(cè)量單元
特點(diǎn)
方便擴(kuò)展
4通道標(biāo)準(zhǔn)PXIe精密電源，易于擴(kuò)展
大量程
量程：±40 V、±500 mA（直流）、±1A（脈沖）
高分辨率
最小測(cè)量分辨率可達(dá)1 pA/1 μV
高采樣率
最高可支持1MS/s的ADC采樣率功能與優(yōu)勢(shì)
5功能于一身
電壓源
可測(cè)試各種設(shè)備
捕獲更多的測(cè)量數(shù)據(jù)
? 6 位的數(shù)字分辨率: 精度相當(dāng)于6 位數(shù)字萬(wàn)用表；
豐富的掃描功能
電壓指標(biāo)
|
電壓精度 |
量程 |
分辨率 |
精度(1年) ±(%讀數(shù)+偏置) 【1】 |
典型噪聲(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
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±40 V |
10μV |
0.015%+1.2 mV |
20 μV |
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±6 V |
1 μV |
0.015%+600 μV |
6 μV |
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溫度系數(shù) |
±(0.15×精度指標(biāo))/℃(0℃-18℃，28℃-50℃) |
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通道【2】【3】 |
CH0到CH3 |
|||
|
輸出功率 |
單通道最大4 W，四通道總功率最大8 W |
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|
過(guò)沖 |
<±0.1%(典型值，Normal，步進(jìn)是范圍的10%至90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試) |
|||
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噪聲 10Hz-20MHz |
6 V電壓源，0.5 A電阻負(fù)載，<3 mVrms |
|||
【1】精度計(jì)算示例：測(cè)試6V量程1V輸出的精度，則允差為：
【2】所有通道輸出與大地電氣隔離，但各通道輸出共地（LO）
【3】本儀表有潛在的危險(xiǎn)高壓(±42 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開機(jī)前必須做好相關(guān)的安全防范措施。請(qǐng)勿將Guard端子接到任何輸出(包括短接到機(jī)箱地或是輸出LO)，否則會(huì)損壞儀表
電流指標(biāo)
|
電流精度 |
量程 |
分辨率 |
精度(1年) ±(%讀數(shù)+偏置) |
典型噪聲(有效值) 0.1Hz-10Hz |
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±1 A【4】【5】 |
500 nA |
0.1% + 125 μA |
3μA |
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±500 mA【5】 |
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±100 mA |
100 nA |
0.03% + 25 μA |
500 nA |
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|
±10 mA |
10 nA |
0.03% + 2.5 μA |
50 nA |
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±1 mA |
1 nA |
0.03% + 250 nA |
5 nA |
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±100 μA |
100 pA |
0.03% + 25 nA |
500 pA |
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|
±10 μA |
10 pA |
0.03% + 3 nA |
100 pA |
|
|
±1 μA |
1 pA |
0.03% + 500 pA |
30 pA |
|
|
溫度系數(shù) |
±(0.15×精度指標(biāo))/℃(0℃-18℃，28℃-50℃) |
|||
|
通道 |
CH0到CH3 |
|||
|
輸出功率 |
單通道最大4 W，四通道總功率最大8 W |
|||
|
過(guò)沖 |
<±0.1%(典型值，Normal，步進(jìn)是范圍的10%至90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試) |
|||
【1】1A量程僅支持脈沖模式，精度為典型值
【2】1A和500mA量程僅支持6V電壓量程
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半導(dǎo)體前道檢測(cè)主要用于晶圓加工環(huán)節(jié)，目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)的要求或者存在影響良率的缺陷，半導(dǎo)體后道測(cè)試設(shè)備主要是用在晶圓加工之后、封裝測(cè)試環(huán)節(jié)內(nèi)，目的是檢查芯片的性能是否符合要求，屬于電性能的檢測(cè)。聯(lián)訊儀器提供晶圓老化及半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試機(jī)等集成解決方案，能夠滿足客戶日益增長(zhǎng)的多樣化需求。
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