高精度臺(tái)式源表
S2021H
4通道精密電源/測(cè)量單元
聯(lián)訊儀器S2021H精密電源/測(cè)量單元是緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的4通道臺(tái)式電源/測(cè)量單元(SMU)，能夠同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流，能夠提供最大±30V、±500 mA（直流/脈沖）輸出以及卓越的彩色LCD圖形用戶界面(GUI)。
特點(diǎn)
高量程
量程：±30 V、±500 mA（直流、脈沖）
高分辨率
最小測(cè)量分辨率可達(dá)100 pA/60 μV
高采樣率
最高可支持500 k的ADC采樣率
閾值觸發(fā)
硬件高速IO，可實(shí)現(xiàn)閾值觸發(fā)，實(shí)現(xiàn)輸出測(cè)量值和用戶系統(tǒng)的高效交互功能與優(yōu)勢(shì)
I-V輸出能力
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電壓設(shè)置精度 |
量程 |
設(shè)置分辨率 |
精度(1年) ±(%讀數(shù)+偏置) 【1】 |
典型噪聲(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
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±30 V【3】 |
1 mV |
0.03%+4 mV |
1000 μV |
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±6 V |
200 μV |
0.03%+1 mV |
100 μV |
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溫度系數(shù) |
±(0.15×精度指標(biāo))/℃(0℃-18℃，28℃-50℃) |
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通道【2】 |
CH1-CH4 |
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輸出功率 |
單通道最大3W，四通道總功率最大6W |
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過(guò)沖 |
<±0.1%(典型值，Normal，步進(jìn)是范圍的10%至90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試) |
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噪聲 10Hz-20MHz |
<3 mVrms，6 V電壓源，0.5 A電阻負(fù)載 |
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[1]精度計(jì)算示例：測(cè)試6V量程1V輸出的精度，則允差為：
[2]所有通道輸出與大地電氣隔離，但CH1-CH4各通道輸出共地（LO），CH5-CH8各通道輸出共地（LO）
[3]本儀表有潛在的危險(xiǎn)高壓(±31.5 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子，為防止電擊，在開機(jī)前必須做好相關(guān)的安全防范措施。請(qǐng)勿將Guard端子接到任何輸出，包括短接到機(jī)箱地或是輸出LO，否則會(huì)損壞儀表
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電流精度 |
量程 |
設(shè)置分辨率 |
精度(1年) ±(%讀數(shù)+偏置) |
典型噪聲(有效值) 0.1Hz-10Hz |
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±500 mA【4】 |
20 μA |
0.05% + 100 μA + Vo*25 μA |
10 μA |
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±100 mA |
4 μA |
0.05% + 10 μA+ Vo*5 μA |
1 μA |
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±10 mA |
400 nA |
0.05% + 5 μA + Vo*500 nA |
100 nA |
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±1 mA |
40 nA |
0.05% + 500 nA + Vo*50 nA |
10 nA |
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±100 μA |
4 nA |
0.05% + 50 nA + Vo*5 nA |
1 nA |
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±10 μA |
400 pA |
0.05% + 20 nA + Vo*500 pA |
150 pA |
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溫度系數(shù) |
±(0.15×精度指標(biāo))/℃(0℃-18℃，28℃-50℃) |
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通道【5】 |
CH1-CH4 |
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輸出功率 |
單通道最大3W，四通道總功率最大6W |
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過(guò)沖 |
<±0.1%(典型值，Normal，步進(jìn)是范圍的10%至90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試) |
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[4]500mA量程僅支持6V電壓量程
[5]所有通道輸出與大地電氣隔離，但CH1-CH4各通道輸出共地（LO），CH5-CH8各通道輸出共地（LO）
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電壓表精度 |
量程 |
測(cè)量分辨率 |
精度（1年） ±（%電壓+偏置） |
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±30 V |
300 μV |
0.03%+4 mV |
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|
±6 V |
60 μV |
0.03%+1 mV |
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溫度系數(shù) |
±（0.15×精度指標(biāo)）/℃（0℃-18℃，28℃-50℃） |
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電流表精度 |
量程 |
測(cè)量分辨率 |
精度（1年） ±（%電流+偏置） |
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±500 mA【6】 |
10 μA |
0.05% + 100 μA + Vo*25 μA |
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±100 mA |
1 μA |
0.05% + 10 μA+ Vo*5 μA |
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±10 mA |
100 nA |
0.05% + 5 μA + Vo*500 nA |
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±1 mA |
10 nA |
0.05% + 500 nA + Vo*50 nA |
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±100μA |
1 nA |
0.05% + 50 nA + Vo*5 nA |
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±10μA |
100 pA |
0.05% + 20 nA + Vo*500 pA |
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溫度系數(shù) |
±（0.15×精度指標(biāo)）/℃（0℃-18℃，28℃-50℃） |
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[6]500mA量程僅支持6V電壓量程
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Details
半導(dǎo)體前道檢測(cè)主要用于晶圓加工環(huán)節(jié)，目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)的要求或者存在影響良率的缺陷，半導(dǎo)體后道測(cè)試設(shè)備主要是用在晶圓加工之后、封裝測(cè)試環(huán)節(jié)內(nèi)，目的是檢查芯片的性能是否符合要求，屬于電性能的檢測(cè)。聯(lián)訊儀器提供晶圓老化及半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試機(jī)等集成解決方案，能夠滿足客戶日益增長(zhǎng)的多樣化需求。
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