激光器測(cè)試
CT6201-DC
CoC測(cè)試系統(tǒng)
特點(diǎn)
CoC與探針板不分離
老化到測(cè)試過程CoC探針板不分離
溫度控制
支持25℃～100℃
測(cè)試效率高
CoC測(cè)試機(jī)時(shí)間＜7.5s
自動(dòng)上下夾具
彈夾最多可放置6個(gè)魚骨夾具
測(cè)試精度高
閾值電流重復(fù)性：＜±1%
自研源表
測(cè)試系統(tǒng)默認(rèn)集成聯(lián)訊儀器自研精密源表
軟件功能
所有測(cè)試結(jié)果、狀態(tài)和異常記錄均自動(dòng)保存至數(shù)據(jù)庫
| 參數(shù) | 指標(biāo) |
| 芯片類型 | CoC |
| 夾具類型 | 支持CoC老化系統(tǒng)相同的夾具 |
|
- 標(biāo)準(zhǔn) 48 pcs 芯片長夾具 - 標(biāo)準(zhǔn) 32 pcs 芯片短夾具 | |
| 夾具取放 | 自動(dòng)取放夾具（自動(dòng)上料，自動(dòng)壓接，自動(dòng)下料） |
| 夾具ID掃描識(shí)別 | 夾具Barcode自動(dòng)掃描識(shí)別 |
| 并行測(cè)試 | CoC夾具雙側(cè)面并行測(cè)試 |
| 標(biāo)準(zhǔn)樣品控制 |
軟件支持標(biāo)準(zhǔn)樣品管控功能 如果標(biāo)準(zhǔn)樣品在本機(jī)臺(tái)測(cè)試超過時(shí)間周期（可配置），系統(tǒng)自動(dòng)告警 標(biāo)準(zhǔn)樣品單獨(dú)管控程序 |
| 測(cè)試機(jī)臺(tái)控制 | 軟件支持測(cè)試機(jī)臺(tái)管控功能，相同夾具在老化前后分別在不同的測(cè)試機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)試，軟件會(huì)自動(dòng)產(chǎn)生告警提示。（老化前后在同機(jī)臺(tái)同工作臺(tái)測(cè)試） |
| 測(cè)試配置管控 | 軟件支持測(cè)試配置管控，包括測(cè)試儀表，測(cè)試算法，測(cè)試序列，測(cè)試結(jié)果判斷等。 |
| 測(cè)試數(shù)據(jù) | 支持客戶自定義、支持MES相關(guān)的需求 |
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Details
半導(dǎo)體前道檢測(cè)主要用于晶圓加工環(huán)節(jié)，目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)的要求或者存在影響良率的缺陷，半導(dǎo)體后道測(cè)試設(shè)備主要是用在晶圓加工之后、封裝測(cè)試環(huán)節(jié)內(nèi)，目的是檢查芯片的性能是否符合要求，屬于電性能的檢測(cè)。聯(lián)訊儀器提供晶圓老化及半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試機(jī)等集成解決方案，能夠滿足客戶日益增長的多樣化需求。
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