半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試
WAT6600
通用并行WAT測(cè)試機(jī)
特點(diǎn)
自研核心儀表
Perpin源表，Perpin高壓脈沖源
資源能力強(qiáng)
Perpin SMU輸出能力200V max, 1A max Perpin PGU輸出能力±20V（開路）
靈活配置Pin數(shù)
最多支持48Pin全開爾文連接
高精度
精度可達(dá)1pA，系統(tǒng)漏電流＜500fA
適配主流48Pin圓形針卡
低成本串并測(cè)試轉(zhuǎn)換
支持SECS/GEM
可接入客戶EAP，
集成CAL/DIAG/PV軟件
支持用戶測(cè)試日志可自定義，
高適配、兼容度高
支持所有主流Prober
WAT6600系列型號(hào)
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序號(hào) |
型號(hào) |
名稱 |
描述 |
| 1 | WAT6610 | 通用并行WAT測(cè)試機(jī) | 200V,1Adc,100nV/1fA,48Pins,Perpin SMU&Perpin PGU |
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序號(hào) |
系統(tǒng)大類 |
子類 |
描述 |
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1 |
并行WAT測(cè)試系統(tǒng)機(jī)架 |
系統(tǒng)主機(jī)柜 |
包括機(jī)柜，EMO模塊，電源分配單元 |
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工作站及系統(tǒng)軟件 |
Win10工作站,ptSemight測(cè)試軟件 |
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電容表 |
外購(gòu)（可選配）： 1fF~100nF測(cè)量范圍 |
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電壓表 |
外購(gòu)（可選配）： 7位半以上分辨率 |
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信號(hào)分析儀 |
外購(gòu)（可選配）： 9K~20M頻率范圍 |
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PXIe機(jī)箱 |
外購(gòu)（可選配）： 適配SPGU數(shù)量 |
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SPGU |
Semight（可選配）： 占位2槽，±40V（開路）, ±20V（50?） |
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2 |
并行WAT測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試頭 |
測(cè)試頭主機(jī) |
包括測(cè)試頭主機(jī)機(jī)體，根據(jù)輸出通道配置Pinboard數(shù)量 |
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Pinboard |
S2018G（可選配）： 每通道Pinboard包含Perpin SMU與Perpin PGU Perpin SMU: ±200V，±1A，100nV/1fA Perpin PGU: ±20V（開路） |
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外部?jī)x表接口 |
默認(rèn)配置： 8通道BNC輸入接口 |
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測(cè)試目標(biāo) |
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Si/GaN/SiC等半導(dǎo)體器件的晶圓級(jí)WAT測(cè)試、WLR測(cè)試 |
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測(cè)試項(xiàng)目（不限于） |
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IV/CV |
Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm |
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MIM_CAP，C & G |
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Ic-Vc，BETA，BV |
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Ron，R_tlm，Rsh_van |
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Spot，Sweep，Search |
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Kelvin & Non-Kelvin |
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Differential Voltage |
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頻率 |
Frequency |
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可靠性 |
HCI，BTI/NBTI，TDDB |
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Perpin直流測(cè)試 |
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測(cè)試儀表 |
Semight S2018G |
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測(cè)試功能 |
單點(diǎn)，掃描等 |
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測(cè)試范圍 |
S2018G：1fA to 1A 100nV to 200V |
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Perpin高速脈沖信號(hào)產(chǎn)生 |
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信號(hào)發(fā)生器 |
Semight S2018G |
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信號(hào)幅度 |
±20V（開路） |
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信號(hào)頻率 |
0.1Hz to 5MHz |
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信號(hào)脈寬 |
100 ns to (脈沖周期 – 100 ns) |
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信號(hào)邊沿 |
<100 ns（典型值50ns） |
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外部高速脈沖信號(hào)產(chǎn)生 |
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信號(hào)發(fā)生器 |
Semight S3023P |
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信號(hào)幅度 |
±40V（開路）, ±20V（50Ω負(fù)載） |
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信號(hào)頻率 |
0.1Hz to 10MHz |
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信號(hào)脈寬 |
60 ns to (脈沖周期 - 60 ns) |
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信號(hào)邊沿 |
20 ns（Vamp < 5V, 負(fù)載開路） |
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電容測(cè)試 |
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測(cè)試儀表 |
商用儀表 |
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測(cè)試功能 |
C/G |
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測(cè)試頻率 |
1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz |
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測(cè)試范圍 |
1fF to 100nF |
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直流偏置 |
±40 V |
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差分電壓測(cè)試 |
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測(cè)試儀表 |
商用儀表 |
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測(cè)試范圍 |
1μV to 100V |
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信號(hào)分析 |
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分析儀表 |
商用儀表 |
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頻率范圍 |
9K to 20M Hz |
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Details
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