半導(dǎo)體參數(shù)測試
WAT6200S
通用串行WAT測試機(jī)
聯(lián)訊儀器 WAT6200S系列通用串行WAT測試系統(tǒng)，可以快速執(zhí)行精確的直流測量、電容測量，以及其他高頻應(yīng)用，閃存測試等。
聯(lián)訊儀器 WAT6200S系列系統(tǒng)分為WAT6210S和WAT6215S兩款型號，系統(tǒng)均最多支持 8 通道源表單元（SMU）輸入，可以單獨(dú)配置為電流或電壓源，電流或電壓表；系統(tǒng)最多支持4通道高壓脈沖發(fā)生模塊HV-SPGU，提供快速脈沖產(chǎn)生能力用于現(xiàn)代高級閃存測試。WAT6210S最大可擴(kuò)展48通道的低漏電流開關(guān)矩陣輸出，其開關(guān)矩陣和SMU均置于測試頭內(nèi)。WAT6215S使用兩臺低漏電開關(guān)矩陣，最大可擴(kuò)展48通道全開爾文連接輸出，其所有儀表均置于機(jī)柜內(nèi)，用于配合全自動或半自動探針臺使用。系統(tǒng)還支持6或12個輔助輸入端口接入外部的儀表，如DVM，LCR，Signal Analyzer等實(shí)現(xiàn)高精確的電壓、電容、頻率的串行測量。
特點(diǎn)
自研核心儀表
源表、高壓脈沖源、低漏電開關(guān)矩陣
靈活配置Pin數(shù)
最多支持14通道輸入、48路輸出
精度高
精度可達(dá)1pA，系統(tǒng)漏電流＜1pA
軟支持SECS/GEM
可接入客戶EAP
集成GAL/DIAG/PV軟件
用戶測試日志可自定義
適配主流48pin圓形針卡
無額外成本替換已有測試系統(tǒng)
支持所有主流Prober
探針臺高適配性
高適配、全兼容
兼容測試程序和Algo算法
WAT6200S系列型號
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序號 |
型號 |
名稱 |
描述 |
| 1 | WAT6210S | 通用串行WAT測試機(jī) | 200V,1Adc,100nV/1fA,48Pin |
| 2 | WAT6215S | 通用串行WAT測試機(jī) | 200V,1Adc,100nv/1fA,48Pin full kelvin,Cable Out |
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子類 |
描述 |
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工作站及系統(tǒng)軟件 |
Win10工作站,ptSemight測試軟件 |
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電容表 |
外購（可選配）： 1fF~100nF測量范圍 |
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電壓表 |
外購（可選配）： 7位半以上分辨率 |
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信號分析儀 |
外購（可選配）： 9K~10M頻率范圍 |
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低漏電流開關(guān)矩陣 |
RM1010-LLC： 低漏電流開關(guān)矩陣主機(jī)，支持14通道輸入，最高4張R1010G-LLC子卡插入并支持到48通道輸出,獨(dú)立專用Chuck輸出 R1010G-LLC（可選配）： 低漏電流開關(guān)矩陣子卡，8通道輸入12通道輸出，200V，1A，<100fA@10V(低漏電流通道) |
| PXIe機(jī)箱 | 適配SMU，SPGU數(shù)量的PXIe機(jī)箱 |
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源測量單元（SMU） |
S2012C（可選配）： 占位1槽，200V，1A，100nV/10fA S2016C（可選配）： 占位1槽，200V，1A，100nV/1fA |
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高壓脈沖發(fā)生單元(SPGU) |
S3023P（可選配）： 占位2槽，±40V（Open）, ±20V（50?） |
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測試目標(biāo) |
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Si/GaN/SiC等半導(dǎo)體器件的晶圓級WAT測試、WLR測試 |
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測試項(xiàng)目（不限于） |
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IV/CV |
Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm |
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MIM_CAP，C & G |
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Ic-Vc，BETA，BV |
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Ron，R_tlm，Rsh_van |
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Spot，Sweep，Search |
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Kelvin & Non-Kelvin |
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Differential Voltage |
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頻率 |
Frequency |
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可靠性 |
HCI，BTI/NBTI，TDDB |
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直流測試 |
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測試儀表 |
Semight S2012C，S2016C |
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測試功能 |
單點(diǎn)，掃描等 |
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測試范圍 |
S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V |
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S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V |
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電容測試 |
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測試儀表 |
商用儀表 |
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測試功能 |
C/G |
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測試頻率 |
1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz |
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測試范圍 |
1fF to 100nF |
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直流偏置 |
±40 V |
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差分電壓測試 |
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測試儀表 |
商用儀表 |
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測試范圍 |
1μV to 100V |
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高速脈沖信號產(chǎn)生 |
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信號發(fā)生器 |
Semight S3023P |
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信號幅度 |
±40V（開路）, ±20V（50歐負(fù)載） |
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信號頻率 |
0.1Hz to 10MHz |
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信號脈寬 |
60 ns to (脈沖周期 - 60 ns) |
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信號邊沿 |
20 ns（Vamp < 5V, 負(fù)載開路） |
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信號分析 |
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分析儀表 |
商用儀表 |
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頻率范圍 |
9K to 10M Hz |
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低漏電流開關(guān)矩陣 |
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開關(guān)矩陣 |
Semight RM1010-LLC |
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輸出通道 |
x12, x24, x36, x48 |
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儀表接口 |
最高支持8端口同時輸入，其中兩端口支持電漏電流輸入 |
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最高14端口輸入，包含兩個四選一端口用于外部儀表的串行測試 |
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兩端口二選一輸出到Chuck |
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