序號(hào)

型號(hào)

名稱

描述

1

WAT6300

垂直型高壓串行WAT測(cè)試機(jī)

3500V，1Adc，100nV/1fA，48Pin^[1]，僅支持CHUCK高壓以及正面1路高壓

2

WAT6310

通用型中壓串行WAT測(cè)試機(jī)

1800V，1Adc.100nV/1fA，48Pin^[1]，通用型

3

WAT6315

通用型中壓串行WAT測(cè)試機(jī)

1800V，1Adc.100nV/1fA，48Pin^[1]  full kelvin，Cable Out，通用型

4

WAT6330

通用型高壓串行WAT測(cè)試機(jī)

3500V，1Adc，100nV/1fA，24Pin，通用型

子類

描述

工作站及系統(tǒng)軟件

Win10工作站，ptSemight測(cè)試軟件

電容表

外購（可選配）：

1fF~100nF測(cè)量范圍

電壓表

外購（可選配）：

7位半以上分辨率

信號(hào)分析儀

外購（可選配）：

9K~10M頻率范圍

垂直型高壓開關(guān)矩陣（WAT6300）

RM1012-HV（可選配）：

支持2通道低壓（200V），1通道高壓（3500V），1通道CMU輸入，內(nèi)置CMU的HV-bias可達(dá)3000V，兩通道高壓輸出

低壓低漏電流開關(guān)矩陣（WAT6300）

RM1010-LLC（可選配）：

低漏電流開關(guān)矩陣主機(jī)，支持14通道輸入，最高4張R1010G-LLC子卡插入支持到48通道輸出^[1]

R1010G-LLC（可選配）：

低壓低漏電流開關(guān)矩陣子卡，單張卡12通道輸出，200V，1A，<100fA@10V（低漏電流通道）

通用型中壓開關(guān)矩陣（WAT6310/WAT6315）

RM1014-MV（可選配）：

通用型中壓開關(guān)矩陣主機(jī)，支持12通道輸入，支兩通道1800V中壓輸入，最高4張R1014G-MV子卡插入支持到48通道輸出^[1]

R1014G-MV（可選配）：

通用型中壓開關(guān)矩陣子卡，單張卡12通道輸出，每通道均支持1800V，1A，<1pA@10V（中壓輸入通道）

通用型高壓開關(guān)矩陣（WAT6330）

RM1013-HV（可選配）：

通用型高壓開關(guān)矩陣主機(jī)，支持10通道輸入，支兩通道3500V高壓輸入，最高3張R1013G-HV子卡插入支持到24通道輸出

R1013G-HV（可選配）：

通用型高壓開關(guān)矩陣子卡，單張卡8通道輸出，每通道均支持3500V，1A，<1pA@10V（高壓輸入通道）

高壓源測(cè)量單元（HVSMU）

可選配：

3500V， 120mA， 100uV/10fA（Semight S3030F）

1100V， 1A， 100nV/10fA（商用儀表）

PXIe機(jī)箱

適配SMU，SPGU數(shù)量的PXIe機(jī)箱

源測(cè)量單元（SMU）

S2012C（可選配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/10fA

S2016C（可選配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/1fA

高壓脈沖發(fā)生單元（SPGU）

S3023P（可選配）：

占位2槽，±40V（Open）， ±20V（50?）

測(cè)試目標(biāo)

Si/GaN/SiC等半導(dǎo)體器件的晶圓級(jí)WAT測(cè)試、WLR測(cè)試

測(cè)試項(xiàng)目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

頻率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流測(cè)試

測(cè)試儀表

Semight S2012C，S2016C， S3030F， 商用儀表

測(cè)試功能

單點(diǎn)，掃描等

測(cè)試范圍

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C： 1fA to 1A 100nV to 200V

S3030F： 10fA to 120mA  100uV to 3500V

商用儀表MVSMU： 10fA to 1A  100nV to 1000V

電容測(cè)試

測(cè)試儀表

商用儀表

測(cè)試功能

C/G

測(cè)試頻率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

測(cè)試范圍

1fF to 100nF

常規(guī)直流偏置

±40 V

高壓直流偏置

±3000 V

差分電壓測(cè)試

測(cè)試儀表

商用DVM

測(cè)試范圍

1μV to 100V

高速脈沖信號(hào)產(chǎn)生

信號(hào)發(fā)生器

Semight S3023P

信號(hào)幅度

±40V（開路）， ±20V（50Ω負(fù)載）

信號(hào)頻率

0.1Hz to 10MHz

信號(hào)脈寬

60ns to （脈沖周期 - 60ns）

信號(hào)邊沿

20ns（Vamp < 5V， 負(fù)載開路）

信號(hào)分析

分析儀表

商用儀表

頻率范圍

9K to 10M Hz

低壓低漏電流開關(guān)矩陣

開關(guān)矩陣

Semight RM1010-LLC

輸出通道

x12， x24， x36， x48

輸入接口

最高支持8端口同時(shí)輸入，其中兩端口支持電漏電流輸入

最高14端口輸入，包含兩個(gè)四選一端口用于外部儀表的串行測(cè)試

垂直型高壓開關(guān)矩陣

開關(guān)矩陣

Semight RM1012-HV

輸出通道

x2

輸入接口

最高支持4端口輸入，2通道低壓（200V），1通道高壓（3500V），1通道CMU輸入，內(nèi)置CMU HV-bias可達(dá)3000V

通用型高壓開關(guān)矩陣

開關(guān)矩陣

Semight RM1013-HV

輸出通道

x8， x16， x24，CHUCK

輸入接口

最高10端口輸入，6端口同時(shí)輸入，包含兩個(gè)三選一端口用于外部儀表的串行測(cè)試，兩端口輸入電壓達(dá)3500V

通用型中壓開關(guān)矩陣

開關(guān)矩陣

Semight RM1014-MV

輸出通道

x12， x24， x36，x48

輸入接口

最高12端口輸入，8端口同時(shí)輸入，包含兩個(gè)三選一端口用于外部儀表的串行測(cè)試，兩端口輸入電壓達(dá)1800V