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晶圓級(jí)老化

WLR3500

晶圓級(jí)老化系統(tǒng)

WLR3500晶圓級(jí)老化系統(tǒng)是一款高端專(zhuān)業(yè)的SiC晶圓老化測(cè)試設(shè)備，能夠同時(shí)對(duì)6片晶圓進(jìn)行高溫柵極偏壓(HTGB)老化和高溫反向偏壓(HTRB)老化;老化測(cè)試時(shí)間范圍廣泛，從數(shù)分鐘到數(shù)十小時(shí)，甚至可擴(kuò)展至數(shù)千小時(shí)，可滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的老化需求;可支持設(shè)置老化條件，同時(shí)可對(duì)每個(gè)Die的閾值電壓(Vth)進(jìn)行精確檢測(cè);系統(tǒng)的每個(gè)通道配備了獨(dú)立的過(guò)電流保護(hù)功能，可確保被測(cè)器件的安全;系統(tǒng)能夠生成映射分析數(shù)據(jù)(Map數(shù)據(jù))，以便用戶(hù)進(jìn)行深入的性能分析和質(zhì)量控制。該系統(tǒng)能夠?yàn)檠邪l(fā)應(yīng)用提供靈活的可配置選項(xiàng)，同時(shí)也適用于高容量的生產(chǎn)應(yīng)用。

申請(qǐng)樣機(jī)

特點(diǎn)

自動(dòng)切換老化
系統(tǒng)同時(shí)支持最多6個(gè)晶圓的GB和RB老化自動(dòng)切換
獨(dú)立控溫與加電
每個(gè)抽屜都具備獨(dú)立的溫度控制和電力供應(yīng)系統(tǒng)
寬電壓范圍
系統(tǒng)支持HTGB電壓±70V和HTRB電壓＜2000V
支持多通道
最多支持4320個(gè)（720*6）通道
高精度測(cè)試
老化過(guò)程中，測(cè)試漏電流的分辨率高達(dá)0.1nA
氣體保護(hù)
提供高可靠性的～3Bar大氣壓的氣體保護(hù)系統(tǒng)
寬溫度范圍
溫度控制范圍從40℃～175℃
在線監(jiān)控與測(cè)試
支持在線監(jiān)控Igss、Idss等關(guān)鍵參數(shù)，并支持Vth測(cè)試

功能與優(yōu)勢(shì)

產(chǎn)品配置

整機(jī)最多可適配6個(gè)單層，每層適配一個(gè)夾具，且每層電路獨(dú)立控制，實(shí)現(xiàn)不同單層工作在不同模式，可以通過(guò)調(diào)用老化Plan進(jìn)行不同的老化驗(yàn)證。

WLR3500（RB+GB）系統(tǒng)配置如下：

序號(hào)	機(jī)型名稱(chēng)	產(chǎn)品描述	參數(shù)
1	晶圓級(jí)老化系統(tǒng)主機(jī)架	WLR3500-M	主機(jī)+軟件，HTGB+HTRB 備注：HTGB+HTRB：滿(mǎn)配6層
2	晶圓級(jí)老化系統(tǒng)單層	WLR3500-L	- HTGB與HTRB自動(dòng)可切換 - Igss與Idss漏電配置可掃描 - 集成Vth參數(shù)測(cè)試 - 靈活配置老化計(jì)劃 - Map數(shù)據(jù)可以對(duì)接CP測(cè)試 - 高密度探針卡以及支持高壓Chuck - 高精度和高可靠性加熱及溫控系統(tǒng) - 6寸晶圓 - Full Touch, 一次老化所有Die，最高720個(gè)Die。 - 1年免費(fèi)維護(hù) 備注：HTGB+HTRB滿(mǎn)配6層
3	晶圓級(jí)老化系統(tǒng)夾具	WLR3500-F	- 針對(duì)SiC晶圓老化HTGB+HTRB - 6寸
4	晶圓上下料系統(tǒng)	AL3500A	- 可以輔助操作人員完成晶圓的對(duì)位和夾具的自動(dòng)安裝 - 支持6寸晶圓自動(dòng)Load/Unload

WLR3500（GB）系統(tǒng)配置如下：

序號(hào)	機(jī)型名稱(chēng)	產(chǎn)品描述	參數(shù)
1	晶圓級(jí)老化系統(tǒng)主機(jī)架	WLR3500-M	主機(jī)+軟件，HTGB 備注：可添加HTRB。HTGB+HTRB：滿(mǎn)配6層
2	晶圓級(jí)老化系統(tǒng)單層	WLR3500-L	- HTGB與HTRB自動(dòng)可切換 - Igss漏電配置可掃描 - 集成Vth參數(shù)測(cè)試 - 靈活配置老化計(jì)劃 - MAP數(shù)據(jù)可以對(duì)接CP測(cè)試 - 高密度探針卡以及支持高壓Chuck - 高精度和高可靠性加熱及溫控系統(tǒng) - 6寸晶圓 - Full Touch, 一次老化所有Die，最高720個(gè)Die。 - 1年免費(fèi)維護(hù) 備注：可添加HTRB HTGB+HTRB：滿(mǎn)配6層
3	晶圓級(jí)老化系統(tǒng)夾具	WLR3500-F	- 針對(duì)SiC晶圓老化，HTGB+HTRB - 6寸
4	晶圓上下料系統(tǒng)	AL3500A	- 可以輔助操作人員完成晶圓的對(duì)位和夾具的自動(dòng)安裝 - 支持6寸晶圓自動(dòng)Load/Unload

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