發(fā)布日期：2025.03.21
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晶圓允收測(cè)試（WAT），也稱之為半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試（Parametric Test）, 電測(cè)試(E-Test)，或工藝控制監(jiān)控（Process Control Monitor，PCM）。它是半導(dǎo)體制造的基石，可確保晶圓實(shí)現(xiàn)最高的質(zhì)量、可靠性和性能標(biāo)準(zhǔn)。通過在晶圓上（通常在劃片線上）設(shè)計(jì)專門的測(cè)試結(jié)構(gòu)，WAT能夠優(yōu)化制造過程的質(zhì)量控制，幫助晶圓廠提升良率、降低成本，并加速尖端技術(shù)的市場(chǎng)化進(jìn)程。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的持續(xù)發(fā)展，WAT在新工藝研發(fā)、工藝監(jiān)控與生產(chǎn)維護(hù)、新產(chǎn)品導(dǎo)入、可靠性工程等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
WAT（晶圓允收測(cè)試）是晶圓制造過程中至關(guān)重要的過程控制監(jiān)測(cè)（PCM）工具，在半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量和良率方面發(fā)揮著決定性作用。它能夠提供局部（晶圓特定）和全局（晶圓到批次或批次到批次）的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，為制造過程的優(yōu)化提供關(guān)鍵支持。
未來的發(fā)展方向?qū)⒕劢褂诟鼜?fù)雜的測(cè)試陣列設(shè)計(jì)和并行測(cè)試能力的提升，以進(jìn)一步縮短測(cè)試時(shí)間并降低成本。
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