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功率芯片測試

PB6400

KGD測試分選系統(tǒng)


聯(lián)訊儀器 PB6400 KGD測試分選系統(tǒng)設(shè)計用于功率芯片SiC靜態(tài)&動態(tài)參數(shù)測試,支持Frame Ring、Tape&Reel以及定制Tray 多種芯片包裝方式。系統(tǒng)測試溫度范圍大,支持常溫到高溫185℃,針對高溫測試,系統(tǒng)配置高溫控制功能,高溫測試效率高。支持1測試站到4測試站靈活可選,不同測試站可支持不同溫度與測試項目,客戶可根據(jù)測試需求定制化配置測試站,應(yīng)用靈活。



特點

  • 設(shè)計靈活

    Handler部分與測試部分分離,可擴展性強
  • 多路并行測試

    最多支持四個測試站,不同測試站支持不同測試條件與測試項目
  • 支持動靜態(tài)參數(shù)測試

    支持 2000V/200A 靜態(tài)測試,2000V/1500A 動態(tài)測試
  • 溫度穩(wěn)定性高

    測試溫度范圍:RT~185℃,高溫溫度穩(wěn)定性≤±3℃,分辨率 0.1℃
  • 加電針卡采用氣密設(shè)計

    支持惰性氣體保護以防高壓打火
    支持腔體壓力監(jiān)測
  • 支持六面外觀檢查

  • UPH能力>900PCS

    單站測試時間≤1s
  • 系統(tǒng)功能豐富

    軟件實現(xiàn)數(shù)據(jù)MAP功能,可以進行硬 Bin分檔
    軟件支持本地數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù)庫上傳,支持EAP對接
    軟件支持三級權(quán)限管理和多賬號管理

類型

參數(shù)

指標(biāo)

備注

基本參數(shù)

適用裸Die尺寸

3*3mm-8*8mm

 

適用裸Die厚度

100-400um

 

綜合搬運精度

±30um

 

控溫能力

溫度范圍

室溫~185℃

 

溫度分辨率

0.1℃

 

溫度穩(wěn)定性

≤±3℃

 

視覺檢測能力

外觀檢測精度

≥12um

要求缺陷成像灰度與周邊對比度超過40以上

缺陷檢測項目

正面/背面:劃痕、臟污、異物、炸點、缺角、崩邊

 

側(cè)面:崩邊

 

穩(wěn)定性

MTBF

>168H

 

MTBA

>2H

 

MTTA

5 min

 

MTTR

< 30 min

 

掉料率

≤0.01%

 

碎片率

≤0.01%

搬運造成

針痕深度

≤2um

 

Drain極開爾文

≤2Ω

TiNiAg材質(zhì)

測試效率

單軌

≥500

測試時間≤1s

雙軌并測

≥900

測試時間≤1s

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