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低漏電開關(guān)矩陣

聯(lián)訊儀器低漏電開關(guān)矩陣基于高絕緣干簧繼電器和低泄漏電流控制技術(shù)，專為半導體晶圓參數(shù)測量應用而設計，支持SMU/SPGU/CMU/DMM等測量設備的接入。
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