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脈沖源

S3023P

PXIe模塊化脈沖電壓源



聯(lián)訊儀器S3023P 是PXIe插卡式單通道高壓半導(dǎo)體測試脈沖源，能夠輸出土40V的高壓脈沖源，能夠提供最快25ns(Vamp< 10V)的邊沿時間，可滿足半導(dǎo)體高速測試應(yīng)用。S3023P支持傳統(tǒng)的SCPI命令，讓測試代碼的遷移變得輕松快捷，可支持多機(jī)并聯(lián),多機(jī)同步，集成到生產(chǎn)測試系統(tǒng)中使用，以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。


特點

  • 高電壓范圍

    ±40V，滿足NVM測試技術(shù)條件

  • 高電壓變化率

    1000V/us，可產(chǎn)生較快邊沿的高壓脈沖源

  • PXIe接口

    基于PXIe接口的設(shè)計，可適配標(biāo)準(zhǔn)PXIe接口的機(jī)箱，輕松實現(xiàn)多通道擴(kuò)展，便于與其他PXIe接口儀表設(shè)備共享機(jī)箱集成，構(gòu)成便捷的半導(dǎo)體測試設(shè)備

  • 多電平脈沖

    支持輸出兩電平脈沖、三電平脈沖，可以實現(xiàn)多脈沖組合，滿足半導(dǎo)體測試對多電平脈沖需求

  • ALWG功能

    支持用戶基于CSV的文本編輯，輸出任意線性波形信號



技術(shù)指標(biāo)

  • 軟件功能：

    GUI非常直觀和簡潔，可輕松配置通道的輸出電壓波形的設(shè)置。


脈沖或直流輸出電壓指標(biāo)

項目 測試條件 技術(shù)指標(biāo) 備注

電壓幅值


 50?負(fù)載 -20V ~ +20V



開路 -40V ~ +40V



電壓幅值分辨率


50?負(fù)載

 0.2mV |Vout| ≤ 5V
0.8mV 0.5V ≤|Vout| ≤ 20V


開路 		0.4mV |Vout| ≤ 10V
1.6mV 10V≤|Vout| ≤ 40V
輸出接口


SMA


內(nèi)阻


50? ± 1%


輸出短路電流


800mA 峰值（400mA均值）


輸出過沖（振鈴） 50?負(fù)載 ±（5%+20mV）



脈沖或直流輸出電壓指標(biāo)（均以50?終端負(fù)載，應(yīng)是開環(huán)控制指標(biāo)，高速脈沖）

項目 子項目 技術(shù)指標(biāo) 備注
頻率范圍


0.1 ~ 33MHz



脈沖周期



 可編程范圍 40ns ~ 10s


分辨率 10ns


最小周期 100ns Vamp ≤ 10V
精度 ±1%（0.01%+200ps）




脈沖寬度



 可編程范圍 20ns ~(脈沖周期 -10ns)



分辨率

 2.5ns Vamp<10V
20ns Vamp>10V
最小值(10%~90%邊沿) 120ns


精度 ±（3%+2ns）






脈沖過程時間（Tr和Tf）





 可編程范圍 20ns ~ 400ms



分辨率

 2ns Tr+Tf≤10us
20ns Tr+Tf＞10us



最小值(10%~90%邊沿)


 30ns Vamp≤ 5V
35ns Vamp≤ 10V
40ns Vamp≤ 20V
60ns Vamp> 20V


精度

 -5%~+5%+25ns Vamp≤ 10V
-5%~+5%+40ns Vamp≤ 20V


SPGU補(bǔ)充指標(biāo)

項目 技術(shù)指標(biāo) 測試條件
脈沖寬度抖動 0.001%+150ps


脈沖周期抖動 0.001%+150ps


最大電壓擺率 1000V/us Vamp=40V(50? Load)
輸出噪聲 20mVrms


高級功能：
電壓監(jiān)測 SPGU監(jiān)測測試單元終端電壓


測量精度 ±（0.1%+25mV）


測量分辨率 50uV


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