晶圓級可靠性
WLR0010
Multi-site
晶圓級可靠性測試設(shè)備
聯(lián)訊儀器WLR0010 Multi-site晶圓級可靠性測試系統(tǒng)是一款基于JEDEC可靠性測試標(biāo)準(zhǔn)開發(fā)的可靠性測試系統(tǒng)，主要由測試機和探針臺組成。可實現(xiàn)TDDB/HCI/NBTI等功能的測試，測試系統(tǒng)溫度高達200℃，同時通過算法模型對數(shù)據(jù)進行分析，實現(xiàn)對產(chǎn)品制程工藝缺陷的分析。系統(tǒng)的每個通道配備了獨立的過流保護功能，可確保被測器件的安全，同時可與客戶EAP系統(tǒng)對接，實現(xiàn)生產(chǎn)數(shù)據(jù)的管理和自動生成MAP數(shù)據(jù)，以便用戶進行深入的性能分析和質(zhì)量控制。
特點
采用定制半自動探針臺
可支持4-12英寸晶圓
支持Multi-site測試
最高可以同時測試16 Sites
氮氣保護防止晶圓氧化
非保壓式
曲線實時顯示
可以實時呈現(xiàn)晶圓MAP圖和測試曲線
聯(lián)訊WLR軟件測試平臺
可以實現(xiàn)TDDB/HCI/NBTI/HTGB/Vth等測試模式的自動測試和數(shù)據(jù)分析
自研源表
采用聯(lián)訊高精度SMU源表
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參數(shù) |
指標(biāo) |
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工作溫度 |
15℃～55℃ |
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存儲溫度 |
-10℃～50℃ |
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工作濕度 |
40～60% |
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存儲濕度 |
<90%（無凝結(jié)） |
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工作海拔 |
0～2000m |
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供電功率 |
測試機:AC220V & 50/60Hz & 2KW 探針臺:AC220V & 50/60Hz & 1KW 溫控箱:AC220V & 50/60Hz & 2KW |
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電磁兼容 |
滿足歐盟EMC標(biāo)準(zhǔn) |
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安全 |
滿足歐盟安全標(biāo)準(zhǔn) |
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認證 |
符合CE或Semi S2的認證 |
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軟件系統(tǒng) |
Linux |
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軟件語言環(huán)境 |
C#/C++ |
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軟件功能 |
DUT MAP編輯，測試任務(wù)編輯和設(shè)置，數(shù)據(jù)顯示和數(shù)據(jù)分析， MES接口，用戶權(quán)限管控，校準(zhǔn)維護，故障診斷 |
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參數(shù) |
指標(biāo) |
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探針臺 |
晶圓尺寸 |
4～12 inch |
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晶圓厚度 |
100-2000μm |
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Chuck耐壓 |
500V（Max.） |
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Chuck電流 |
50A（Max.） |
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X-Y軸行程 |
350mm*365mm |
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Z軸行程 |
≥15mm |
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溫度范圍 |
25℃～200℃ |
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溫度均勻性 |
25~100℃ ≤±1℃ 100~200℃ ≤±1% |
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升降溫速率
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+25℃ to +200℃ : 30min +200℃ to +25℃ : 50min |
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探針卡 |
根據(jù)客戶需求進行配置 |
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