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晶圓級可靠性

WLR0100

晶圓級可靠性測試系統(tǒng)


聯(lián)訊儀器 晶圓級可靠性測試系統(tǒng) WLR0100 可針對半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體晶圓分別進行不同封裝級別的可靠性測試。針對器件級別可配置雙溫區(qū),16 個老化板,每個老化單板支持 32 通道獨立采樣老化,同時進行最大 512 路產(chǎn)品的可靠性測試。針對晶圓級別,支持的晶圓尺寸可定制,探針數(shù)可定制,通道數(shù)可擴展。

特點

  • 電壓范圍

    0-200V 軟件可設(shè)
  • 通道硬件獨立限流

    0-10mA 軟件可設(shè)
  • 監(jiān)控電流采樣速率

    最小 10nA 精度
    單板32顆產(chǎn)品輪詢在1秒掃描完成
  • 獨立雙溫區(qū)

    最高支持 200 度
  • 單板支持通道

    32 通道
  • 通道獨立檔位

    可滿足精度和量程要求 ,并且通道獨立
  • 產(chǎn)品異常保護功能

    需要有過流過壓保護功能 ,保護閾值可以設(shè)置 ,過流保護響應(yīng)時間<100ns, 過沖<5%
  • 老化箱支持氮氣接入保護

功能與優(yōu)勢

  • DIP封裝的Burn-in Board

    配套Burn-in Board采用金手指結(jié)構(gòu),下圖為典型的DIP封裝Burn-in Board。
  • 聯(lián)訊WLR0100測試軟件平臺為可配置性平臺,包括以下功能:

    支持在線產(chǎn)品的在位預(yù)檢功能,可以檢測用戶是否插拔接觸良好;
    支持老化可靠性任務(wù)的靈活編輯和配置,進行可靠性測試;
    提供直觀的數(shù)據(jù)顯示和數(shù)據(jù)分析功能;
    支持用戶權(quán)限管控,分工程師,技術(shù)員和操作員三個權(quán)限級別。


技術(shù)指標

支持DUT DIP or TO247 Burn-in Board
測試溫度范圍 (環(huán)溫+20)℃~+200℃










電參數(shù)

測試參數(shù) 測試原始數(shù)據(jù)、計算結(jié)果、系統(tǒng)運行詳細日志的保存
Channel 高達384 ch
驅(qū)動板 獨立的32 ch的電流、電壓監(jiān)控
系統(tǒng)驅(qū)動板 12塊驅(qū)動板獨立調(diào)節(jié)電壓、限流
Vth掃描測試 Range:0V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV;
飽和電流測試 ≤10mA



漏電流范圍及精度

Range:1mA~10mA ,Accuracy:0.5%RD±50uA;
Range:100uA-1mA ,Accuracy:0.5%RD±500nA;
Range:10uA-100uA ,Accuracy:0.5%RD±50nA;
Range:1uA-10uA ,Accuracy:0.5%RD±5nA;
Range:0nA-1uA ,Accuracy:0.5%RD±500pA;
電壓源范圍及精度 Range:0V~20V ,Accuracy:0.5%RD±50mV;
Range:20V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV;
數(shù)據(jù)監(jiān)控 支持電壓、電流的監(jiān)測并上傳PC客戶端,在試驗全過程檢測記錄每
個試驗工位的參數(shù),并繪制輸出曲線和Excel數(shù)據(jù)報告







溫度參數(shù)

測試環(huán)境條件 環(huán)境溫度為+25℃、試驗箱內(nèi)無試樣無換氣條件下
測試方法 GB/T 5170.2-2017 溫度試驗設(shè)備
溫度范圍 (環(huán)境溫度+20)℃~+200℃
溫度波動度 ≤100℃時:0.4℃(如按 GB/T 5170.2-1996 表示,則為±0.2℃)
≤200℃時:0.4℃(如按 GB/T 5170.2-1996 表示,則為±0.2℃)
溫度偏差(空載) ≤100℃時:±1.5℃;≤200℃時:±2.0℃
溫度偏差(滿載) ≤100℃時:±2.0℃;≤200℃時:±3.0℃






氣體參數(shù)

流體 N2、CO2(常溫,干燥氣體)



流體壓力

氣源壓力要求:
≥1MPa (10kg/cm2)(101、201、301 型號);
≥1.5MPa (15kg/cm2)(401 型號);
閥門進口端允許最高壓力:
2.0kg/cm2(101、201、301 型號);
5.0kg/cm2(401 型號)
流量 最大流量:30L/min(101、201、301 型號);250 L /min(401 型號)
氣源接口 氣源接口要求:快插式氣動管直通,規(guī)格φ10mm

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