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低漏電開關矩陣

RM1010-LLC

低泄漏開關矩陣


聯訊儀器RM1010-LLC 4槽型半導體開關矩陣主機配合S3022F臺式源表或S2012C PXle插卡式源表可滿足半導體高速測試應用。RM1010-LLC可支持多種開關矩陣卡,具有很高性價比,適合工程應用。RM1010-LLC的上位機應用軟件亦在加快開發(fā)新測試功能的開發(fā)時間,簡化系統(tǒng)集成難度。RM1010-LLC支持傳統(tǒng)的SCPI命令,讓測試代碼的遷移變得輕松快捷,可支持多機并聯,集成到生產測試系統(tǒng)中使用,以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。前面板界面簡化了手動編程,讓您一眼就能確認開關狀態(tài)。

特點

  • 設計靈活

    14 路輸入和 48 路輸出
    (低泄漏矩陣配置多達96交叉節(jié)點)
  • 高分辨率

    測量分辨率20 pA
    使用 S3012H、S3022F、S2011C或S2012C SMU
  • 快速測量

    瞬時電流穩(wěn)定時間< 3.5 秒
    (< 450 fA)(10 V 輸入步進)
  • 高速信號測量

    10 MHz 帶寬(-3 dB)
  • 靈活配置

    模塊化設計
    支持 x12、x24、x36和x48三軸輸出配置
  • LED顯示面板

    全新的前面板設計,更容易手動操作
  • GUI控制軟件

    無需編程即可從 PC 進行遠程測量和控制
  • 測試便捷

    支持傳統(tǒng)的SCPI命令

功能與優(yōu)勢

  • 設計靈活

    14 路輸入和 48 路輸出(低泄漏矩陣配置多達96交叉節(jié)點); 使用 S3012H、S3022F 、S2011C或 S2012C SMU,通過開關可實現 20 pA的測量分辨率









技術指標



輸入通道數量
2(Low Leakage I-V Port)
6(General I-V Port)
2(C-V Port)
2(DMM Port)
2(PGU Port)
輸出通道數量 12/24/36/48
額定電流(Max.) 1 A
額定電壓(Max.) 200 V(Channel to Ground)
300 V (Channel to Channel)


通道導通電阻
0.6 Ω(Low Leakage I-V Port)
1.0 Ω(General I-V Port)
1.0 Ω(C-V, HF Port)


通道絕緣電阻1
10^13 Ω(Low Leakage I-V Port)
10^12 Ω(General I-V Port)
10^9 Ω(C-V, HF Port)





典型參數
失調電流 <0.1 pA(Low Leakage I-V Port)
<1000 pA(General I-V Port)


失調電壓
<80 uV(Low Leakage I-V Port)
<110 uV(General I-V Port)
<110 uV(C-V, HF Port)
通道串擾電容 <0.3 pF/CH
電容測量誤差 <±1%±0.5 pF(C-V Port)







通用指標
通信接口 USB/LAN
供電 100/120/220/240 V ± 10%, 47 Hz to 63 Hz
最大功率 100 W
帶寬(@ -3dB) <10 MHz (C-V, HF Port)
繼電器觸點壽命 大于108
瞬時電流穩(wěn)定時間 < 3.5秒(< 450 fA)(@10V 輸入步進)
環(huán)境 在室內設施中使用
工作 0 ℃ 至 +40℃,5 % 至 80 % 相對濕度無冷凝
儲存 -40 ℃ 至 70 ℃,5 % 至 90 % 相對濕度無冷凝
海拔 高度工作:0 m 至 2000 m,儲存:0 m 至 4600 m


Note:
1、絕緣電阻測試環(huán)境:23 ℃ ± 5 ℃, 5% to 60% RH


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