低漏電開關矩陣
RM1010-LLC
低泄漏開關矩陣
聯訊儀器RM1010-LLC 4槽型半導體開關矩陣主機配合S3022F臺式源表或S2012C PXle插卡式源表可滿足半導體高速測試應用。RM1010-LLC可支持多種開關矩陣卡,具有很高性價比,適合工程應用。RM1010-LLC的上位機應用軟件亦在加快開發(fā)新測試功能的開發(fā)時間,簡化系統(tǒng)集成難度。RM1010-LLC支持傳統(tǒng)的SCPI命令,讓測試代碼的遷移變得輕松快捷,可支持多機并聯,集成到生產測試系統(tǒng)中使用,以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。前面板界面簡化了手動編程,讓您一眼就能確認開關狀態(tài)。
特點
設計靈活
14 路輸入和 48 路輸出高分辨率
測量分辨率20 pA快速測量
瞬時電流穩(wěn)定時間< 3.5 秒高速信號測量
10 MHz 帶寬(-3 dB)靈活配置
模塊化設計LED顯示面板
全新的前面板設計,更容易手動操作GUI控制軟件
無需編程即可從 PC 進行遠程測量和控制測試便捷
支持傳統(tǒng)的SCPI命令功能與優(yōu)勢
設計靈活
14 路輸入和 48 路輸出(低泄漏矩陣配置多達96交叉節(jié)點); 使用 S3012H、S3022F 、S2011C或 S2012C SMU,通過開關可實現 20 pA的測量分辨率
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2(Low Leakage I-V Port) 6(General I-V Port) 2(C-V Port) 2(DMM Port) 2(PGU Port) |
輸出通道數量 | 12/24/36/48 | |
額定電流(Max.) | 1 A | |
額定電壓(Max.) |
200 V(Channel to Ground) 300 V (Channel to Channel) |
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0.6 Ω(Low Leakage I-V Port) 1.0 Ω(General I-V Port) 1.0 Ω(C-V, HF Port) |
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10^13 Ω(Low Leakage I-V Port) 10^12 Ω(General I-V Port) 10^9 Ω(C-V, HF Port) |
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失調電流 |
<0.1 pA(Low Leakage I-V Port) <1000 pA(General I-V Port) |
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<80 uV(Low Leakage I-V Port) <110 uV(General I-V Port) <110 uV(C-V, HF Port) |
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通道串擾電容 | <0.3 pF/CH | |
電容測量誤差 | <±1%±0.5 pF(C-V Port) | |
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通信接口 | USB/LAN | |
供電 | 100/120/220/240 V ± 10%, 47 Hz to 63 Hz | |
最大功率 | 100 W | |
帶寬(@ -3dB) | <10 MHz (C-V, HF Port) | |
繼電器觸點壽命 | 大于108次 | |
瞬時電流穩(wěn)定時間 | < 3.5秒(< 450 fA)(@10V 輸入步進) | |
環(huán)境 | 在室內設施中使用 | |
工作 | 0 ℃ 至 +40℃,5 % 至 80 % 相對濕度無冷凝 | |
儲存 | -40 ℃ 至 70 ℃,5 % 至 90 % 相對濕度無冷凝 | |
海拔 | 高度工作:0 m 至 2000 m,儲存:0 m 至 4600 m |
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