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低漏電開關(guān)矩陣

RM1013-HV

低漏電開關(guān)矩陣


聯(lián)訊儀器RM1013-HV 半導(dǎo)體高壓開關(guān)矩陣主機(jī)配合S3030F或其他源表可滿足半導(dǎo)體高速測(cè)試應(yīng)用。可支持多張開關(guān)矩陣子卡（R1013G-HV）擴(kuò)展通道，具有很高性價(jià)比，適合工程應(yīng)用。支持傳統(tǒng)的SCPI命令，讓測(cè)試代碼的遷移變得輕松快捷，可支持多機(jī)并聯(lián)，集成到生產(chǎn)測(cè)試系統(tǒng)中使用，以提高系統(tǒng)的測(cè)試效率并降低成本。

特點(diǎn)


  • 適配高壓半導(dǎo)體

    基于高壓、高絕緣干簧繼電器和低泄漏電流控制技術(shù)

  • 多路高壓靈活測(cè)量

    支持2路高壓低泄漏電流通道輸入
    整機(jī)支持10路輸入和24路輸出

  • 高壓低泄漏電流

    ＜300pA@3000V
    配合S3030F等高精密SMU實(shí)現(xiàn)更高精密自動(dòng)測(cè)

  • 支持快速測(cè)量

    電流建立時(shí)間＜10秒（1V電壓輸入開始到電流<300fA）

  • 高繼電器觸點(diǎn)壽命

    使用世界一流的干簧管制作的繼電器，機(jī)械壽命最高可達(dá)10^8次

  • 10MHz帶寬

    優(yōu)化C-V和DMM通道的傳輸帶寬
    在>1MHz，<10MHz時(shí)，帶寬衰減隨著頻率升高而逐步提高

  • 支持2種控制連接

    通過LAN傳輸?shù)腟CPI命令連接系統(tǒng)控制器與上位機(jī)軟件

  • 軟件功能豐富

    界面GUI可輕松配置通道的閉合、斷開進(jìn)行測(cè)量

通道技術(shù)指標(biāo)


參數(shù)名稱

指標(biāo)

輸入通道數(shù)量

2 (High Voltage Low Leakage I-V Port)

4(General I-V Port)

2 (C-V Port)

2 (DMM Port)

輸出通道數(shù)量

8/16/24

額定電流（Max.）

1 A

額定電壓（Max.）

3500 V（High Voltage I-V Port ,Channel to Ground）

3500 V（High Voltage I-V Port ,Channel to Channel)

200 V (Channel to Ground)

200 V (Channel to Channel)

通道導(dǎo)通電阻

0.6 Ω (Low Leakage I-V Port)

1.0 Ω (General I-V Port)

1.0 Ω (C-V, HF Port)

通道絕緣電阻【1】

10^13 Ω (Low Leakage I-V Port)

10^12 Ω (General I-V Port)

10^9 Ω (C-V, HF Port)

[1]絕緣電阻測(cè)試環(huán)境：23℃ ± 5℃, 5% to 60% RH。


典型參數(shù)


參數(shù)名稱

指標(biāo)

失調(diào)電流

＜1 pA (Low Leakage I-V Port)

＜20 pA (General I-V Port)

通道串?dāng)_電容

＜0.4 pF/CH

Guard寄生電容【2】

＜150 pF (Low Leakage I-V Port)

＜200 pF (General I-V Port）

[2]當(dāng)主機(jī)安裝一張子卡，輸入輸出通道閉合時(shí)，端口的Guard寄生電容。

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