激光器測試
CT6201-DC
CoC測試系統(tǒng)
聯(lián)訊儀器 CT6201 是全自動的CoC測試系統(tǒng),便捷高效使其成為 CoC大規(guī)模量產(chǎn)的最佳選擇。采用和聯(lián)訊儀器 BI6201 相同的測試夾具,降低了被測芯片上下料的流程,同時也消除了上下料過程中EOS/ESD潛在風(fēng)險。專利設(shè)計的光功率耦合系統(tǒng)設(shè)計,確保了光學(xué)耦合和光譜測量的快速性和重復(fù)性。特有的雙測試載臺設(shè)計,每個載臺可以獨立溫控,節(jié)省升降溫等待的時間,配合 CoC 夾具雙側(cè)并行測試,大大提高了測試效率。
特點
溫度范圍大,穩(wěn)定性高
溫度控制范圍大:25-100 ℃測試效率高
雙測試載臺,支持雙側(cè)面并行測試重復(fù)性高
閾值電流重復(fù)性:<±1%擴展性高
支持直流或者脈沖電源驅(qū)動激光器
系統(tǒng)參數(shù) | 芯片類型 | CoC/CoS |
夾具類型 | 支持CoC老化系統(tǒng)相同的夾具 | |
標(biāo)準(zhǔn) 48 pcs 芯片夾具(可以定制) | ||
上下夾具 | 自動上下夾具 | |
夾具ID掃描識別 | 自動夾具Barcode掃描識別 | |
并行測試 | CoC夾具雙側(cè)面并行測試 | |
標(biāo)準(zhǔn)樣品控制 | 軟件支持標(biāo)準(zhǔn)樣品管控功能。如果標(biāo)準(zhǔn)樣品在本機臺測試超過時間周期(可配置),系統(tǒng)自動告警 | |
測試機臺控制 | 軟件支持測試機臺管控功能,如果相同夾具在老化前后分別在不同的測試機臺進(jìn)行測試,軟件會自動產(chǎn)生告警提示。 | |
測試配置管控 | 軟件支持測試配置管控,包括測試儀表,測試算法,測試序列,測試結(jié)果判斷等。 | |
測試數(shù)據(jù) | 支持用戶要求的所有測試數(shù)據(jù)/支持MES相關(guān)的需求 | |
電學(xué)指標(biāo) | SMU類型 | 標(biāo)準(zhǔn)精密源表 |
直流電流 | 3 A | |
I/V 源分辨率 | 10 fA/100 nV | |
I/V 測量分辨率 | 10 fA/100 nV | |
電壓范圍 | 70 V | |
脈沖電流 | 10 A | |
EOS | 無EOS(任何正常操作和使用條件下) | |
光學(xué)指標(biāo) | 光功率測量探測器類型 | Ge |
光功率波長范圍 | 800-1700 nm | |
光功率測量范圍 | 10 μW-300 mW(>25 mW需加衰減片) | |
光功率測量精度 | <0.2 dB | |
光譜測量范圍 | 集成橫河AQ6360 或其他光譜儀 | |
光譜測量精度 | ||
光功率耦合效率 | 耦合功率>-15 dBm | |
溫度控制指標(biāo) | 溫度控制方法 | TEC |
溫度區(qū)域 | 2 個獨立的溫度控制區(qū)域(雙載臺) | |
溫度范圍 | 25-100 ℃ | |
溫度變化速度(升溫/降溫) | 20 ℃/分鐘 | |
溫度分辨率 | 0.01 ℃ | |
溫度精度 | 25-100 ℃: ±0.5 ℃+1%ΔT | |
溫度一致性 | <±0.5 ℃ | |
溫度穩(wěn)定性 | <±0.2 ℃ | |
測試參數(shù) | Ith重復(fù)性 | ±1% |
功率重復(fù)性 | ±1% | |
SE 重復(fù)性 | ±2% | |
波長重復(fù)性 | <±0.15 nm | |
SMSR 重復(fù)性 | <5 dB |
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