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激光器測試

CT6201-DC

CoC測試系統(tǒng)


聯(lián)訊儀器 CT6201 是全自動的CoC測試系統(tǒng),便捷高效使其成為 CoC大規(guī)模量產(chǎn)的最佳選擇。采用和聯(lián)訊儀器 BI6201 相同的測試夾具,降低了被測芯片上下料的流程,同時也消除了上下料過程中EOS/ESD潛在風(fēng)險。專利設(shè)計的光功率耦合系統(tǒng)設(shè)計,確保了光學(xué)耦合和光譜測量的快速性和重復(fù)性。特有的雙測試載臺設(shè)計,每個載臺可以獨立溫控,節(jié)省升降溫等待的時間,配合 CoC 夾具雙側(cè)并行測試,大大提高了測試效率。



特點

  • 溫度范圍大,穩(wěn)定性高

    溫度控制范圍大:25-100 ℃ 
    溫度穩(wěn)定度高:<±0.1 ℃
  • 測試效率高

    雙測試載臺,支持雙側(cè)面并行測試
    自動上下夾具,降低了人為參與的復(fù)雜性和出錯概率
    極高的測試速度:每個CoC測試時間<7s
  • 重復(fù)性高

    閾值電流重復(fù)性:<±1%
    功率重復(fù)性:<±1%
    波長重復(fù)性:<±0.15 nm
    SMSR重復(fù)性 <5 dB
  • 擴展性高

    支持直流或者脈沖電源驅(qū)動激光器
    集成聯(lián)訊儀器精密源表

系統(tǒng)參數(shù) 芯片類型CoC/CoS
夾具類型 支持CoC老化系統(tǒng)相同的夾具
標(biāo)準(zhǔn) 48 pcs 芯片夾具(可以定制)
上下夾具 自動上下夾具
夾具ID掃描識別 自動夾具Barcode掃描識別
并行測試 CoC夾具雙側(cè)面并行測試
標(biāo)準(zhǔn)樣品控制 軟件支持標(biāo)準(zhǔn)樣品管控功能。如果標(biāo)準(zhǔn)樣品在本機臺測試超過時間周期(可配置),系統(tǒng)自動告警
測試機臺控制 軟件支持測試機臺管控功能,如果相同夾具在老化前后分別在不同的測試機臺進(jìn)行測試,軟件會自動產(chǎn)生告警提示。
測試配置管控 軟件支持測試配置管控,包括測試儀表,測試算法,測試序列,測試結(jié)果判斷等。
測試數(shù)據(jù) 支持用戶要求的所有測試數(shù)據(jù)/支持MES相關(guān)的需求
電學(xué)指標(biāo) SMU類型 標(biāo)準(zhǔn)精密源表
直流電流 3 A
I/V 源分辨率 10 fA/100 nV
I/V 測量分辨率 10 fA/100 nV
電壓范圍 70 V
脈沖電流 10 A
EOS 無EOS(任何正常操作和使用條件下)
光學(xué)指標(biāo) 光功率測量探測器類型Ge
光功率波長范圍 800-1700 nm
光功率測量范圍 10 μW-300 mW(>25 mW需加衰減片)
光功率測量精度 <0.2 dB
光譜測量范圍

集成橫河AQ6360 或其他光譜儀

光譜測量精度
光功率耦合效率

耦合功率>-15 dBm

溫度控制指標(biāo) 溫度控制方法 TEC
溫度區(qū)域 2 個獨立的溫度控制區(qū)域(雙載臺)
溫度范圍 25-100 ℃
溫度變化速度(升溫/降溫)20 ℃/分鐘
溫度分辨率 0.01 ℃
溫度精度

25-100 ℃: ±0.5 ℃+1%ΔT

溫度一致性 <±0.5 ℃
溫度穩(wěn)定性 <±0.2 ℃
測試參數(shù) Ith重復(fù)性 ±1%
功率重復(fù)性 ±1%
SE 重復(fù)性 ±2%
波長重復(fù)性 <±0.15 nm
SMSR 重復(fù)性 <5 dB

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