序號

系統(tǒng)大類

子類

描述

1

并行WAT測試系統(tǒng)機架

系統(tǒng)主機柜

包括機柜，EMO模塊，電源分配單元

工作站及系統(tǒng)軟件

Win10工作站,ptSemight測試軟件

電容表

外購（可選配）：

1fF~100nF測量范圍

電壓表

外購（可選配）：

7位半以上分辨率

信號分析儀

外購（可選配）：

9K~10M頻率范圍

PXIe機箱

外購（可選配）：

適配SPGU數(shù)量

HV-SPGU

S3023P（可選配）：

占位2槽，±40V（開路）, ±20V（50?）

2

并行WAT測試系統(tǒng)測試頭

測試頭主機

包括測試頭主機機體，根據(jù)輸出通道配置Pinboard數(shù)量

Pinboard

S2018G（可選配）：

每通道Pinboard包含Perpin SMU與Perpin PGU

Perpin SMU: ±200V，±1A，100nV/1fA

Perpin PGU: ±20V（開路）

外部儀表接口

默認(rèn)配置：

8通道BNC輸入接口

測試目標(biāo)

Si/GaN/SiC等半導(dǎo)體器件的晶圓級WAT測試、WLR測試

測試項目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

頻率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

Perpin直流測試

測試儀表

Semight S2018G

測試功能

單點，掃描等

測試范圍

S2018G：1fA to 1A 100nV to 200V

Perpin高速脈沖信號產(chǎn)生

信號發(fā)生器

Semight S2018G

信號幅度

±20V（開路）

信號頻率

0.1Hz to 5MHz

信號脈寬

100 ns to (脈沖周期 – 100 ns)

信號邊沿

<100 ns（典型值50ns）

外部高速脈沖信號產(chǎn)生

信號發(fā)生器

Semight S3023P

信號幅度

±40V（開路）, ±20V（50Ω負載）

信號頻率

0.1Hz to 10MHz

信號脈寬

60 ns to (脈沖周期 - 60 ns)

信號邊沿

20 ns（Vamp < 5V, 負載開路）

電容測試

測試儀表

商用儀表

測試功能

C/G

測試頻率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

測試范圍

1fF to 100nF

直流偏置

±40 V

差分電壓測試

測試儀表

商用儀表

測試范圍

1μV to 100V

信號分析

分析儀表

商用儀表

頻率范圍

9K to 20M Hz