序號

系統大類

子類

描述

1

串行WAT測試系統機架

系統主機柜

包括機柜，EMO模塊，電源分配單元

工作站及系統軟件

Win10工作站,ptSemight測試軟件

電容表

外購（可選配）：

1fF~100nF測量范圍

電壓表

外購（可選配）：

7位半以上分辨率

信號分析儀

外購（可選配）：

9K~10M頻率范圍

2

串行WAT測試系統測試頭

測試頭主機柜，

PXIe機箱

包括測試頭主機機體，適配SMU，SPGU數量的PXIe機箱

低漏電流開關矩陣

RM1010-LLC：

低漏電流開關矩陣主機，支持14通道輸入，最高4張R1010G-LLC子卡插入并支持到48通道輸出,獨立專用Chuck輸出

R1010G-LLC（可選配）：

低漏電流開關矩陣子卡，8通道輸入12通道輸出，200V，1A，<100fA@10V(低漏電流通道)

源測量單元（SMU）

S2012C（可選配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/10fA

S2016C（可選配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/1fA

高壓脈沖發(fā)生單元(SPGU)

S3023P（可選配）：

占位2槽，±40V（Open）, ±20V（50?）

測試目標

Si/GaN/SiC等半導體器件的晶圓級WAT測試、WLR測試

測試項目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

頻率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流測試

測試儀表

Semight S2012C，S2016C

測試功能

單點，掃描等

測試范圍

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V

電容測試

測試儀表

商用儀表

測試功能

C/G

測試頻率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

測試范圍

1fF to 100nF

直流偏置

±40 V

差分電壓測試

測試儀表

商用儀表

測試范圍

1μV to 100V

高速脈沖信號產生

信號發(fā)生器

Semight S3023P

信號幅度

±40V（開路）, ±20V（50歐負載）

信號頻率

0.1Hz to 10MHz

信號脈寬

60 ns to (脈沖周期 - 60 ns)

信號邊沿

20 ns（Vamp < 5V, 負載開路）

信號分析

分析儀表

商用儀表

頻率范圍

9K to 10M Hz

低漏電流開關矩陣

開關矩陣

Semight RM1010-LLC

輸出通道

x12, x24, x36, x48

儀表接口

最高支持8端口同時輸入，其中兩端口支持電漏電流輸入

最高14端口輸入，包含兩個四選一端口用于外部儀表的串行測試

兩端口二選一輸出到Chuck