半導(dǎo)體參數(shù)測試
WAT6300
高壓串行WAT測試機(jī)
聯(lián)訊儀器 WAT6300是一臺串行高壓半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，可選配實(shí)現(xiàn)垂直型及通用型高壓測試，可以快速的執(zhí)行精確的高低壓直流測量、電容測量等。垂直型測試系統(tǒng)內(nèi)置一臺低壓低漏電矩陣和一臺單路輸出至CHUCK的垂直型高壓矩陣，系統(tǒng)在高壓3500V使用條件下最多可擴(kuò)展24通道輸出，在600V使用條件下最多可擴(kuò)展48通道輸出，可滿足中高壓多通道的測試需求。通用型測試系統(tǒng)內(nèi)置一臺通用高壓開關(guān)矩陣，最大可擴(kuò)展24通道及CHUCK輸出，所有通道輸出電壓均可高達(dá)3500V，可用于平面型與垂直型的器件測試。垂直型與通用型系統(tǒng)均配置高低壓保護(hù)電路，提高系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性。
特點(diǎn)
自研核心儀表
自研高、低壓源表，高、低壓電漏電流開關(guān)矩陣，
資源能力強(qiáng)
高壓SMU輸出能力3500V max, 120mA max,
靈活配置Pin數(shù)
最多支持48Pin全開爾文連接
精度高
精度可達(dá)1pA，系統(tǒng)漏電流＜1pA
支持SECS/GEM
可接入客戶EAP，方便遠(yuǎn)程監(jiān)控，提升工作效率
支持所有主流Prober
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL, TSK UF200/UF3000/UF3000EX等
適配主流48pin圓形針卡
低成本串并測試轉(zhuǎn)換
高效的ptSemight軟件環(huán)境
自研高效并行算法
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序號 |
系統(tǒng)大類 |
子類 |
描述 |
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1 |
串行WAT測試系統(tǒng)機(jī)架 |
系統(tǒng)主機(jī)柜 |
包括機(jī)柜，EMO模塊，電源分配單元 |
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工作站及系統(tǒng)軟件 |
Win10工作站,ptSemight測試軟件 |
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電容表 |
外購（可選配）： 1fF~100nF測量范圍 |
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電壓表 |
外購（可選配）： 7位半以上分辨率 |
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信號分析儀 |
外購（可選配）： 9K~10M頻率范圍 |
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垂直型高壓開關(guān)矩陣 |
RM1012-HV（可選配）： 支持2通道低壓（200V）,1通道高壓（3500V）,1通道CMU輸入， |
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高壓源測量單元（HVSMU） |
可選配: 3500V, 120mA, 100uV/10fA（Semight S3030F） 1100V, 1A, 100nV/10fA（商用儀表） |
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2 |
串行WAT測試系統(tǒng)測試頭 |
測試頭主機(jī) PXIe機(jī)箱 |
包括測試頭主機(jī)機(jī)體，適配SMU，SPGU數(shù)量的PXIe機(jī)箱 |
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低壓低漏電流開關(guān)矩陣 |
RM1010-LLC（可選配）： 低漏電流開關(guān)矩陣主機(jī)，支持14通道輸入，最高4張R1010G-LLC子卡插入支持到48通道輸出1 R1010G-LLC（可選配）： 低壓低漏電流開關(guān)矩陣子卡，單張卡12通道輸出，200V，1A，<100fA@10V(低漏電流通道) |
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通用型高壓開關(guān)矩陣 |
RM1013-HV（可選配）： 通用型高壓開關(guān)矩陣主機(jī)，支持10通道輸入，支兩通道3500V高壓輸入，最高3張R1013G-HV子卡插入支持到24通道輸出 R1013G-HV（可選配）： 通用型高壓開關(guān)矩陣子卡，單張卡8通道輸出，每通道均支持3500V,1A，<1pA@10V（高壓輸入通道） |
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源測量單元（SMU） |
S2012C（可選配）： 占位1槽，200V，1A，100nV/10fA S2016C（可選配）： 占位1槽，200V，1A，100nV/1fA |
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高壓脈沖發(fā)生單元(SPGU) |
S3023P（可選配）： 占位2槽，±40V（Open）, ±20V（50?） |
1、48通道輸出電壓僅支持到600V，24通道輸出可支持到3500V
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測試目標(biāo) |
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Si/GaN/SiC等半導(dǎo)體器件的晶圓級WAT測試、WLR測試 |
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測試項(xiàng)目（不限于） |
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IV/CV |
Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm |
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MIM_CAP，C & G |
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Ic-Vc，BETA，BV |
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Ron，R_tlm，Rsh_van |
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Spot，Sweep，Search |
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Kelvin & Non-Kelvin |
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Differential Voltage |
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頻率 |
Frequency |
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可靠性 |
HCI，BTI/NBTI，TDDB |
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直流測試 |
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測試儀表 |
Semight S2012C，S2016C, S3030F, 商用儀表 |
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測試功能 |
單點(diǎn)，掃描等 |
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測試范圍 |
S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V |
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S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V |
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S3030F: 10fA to 120mA 100uV to 3500V |
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商用儀表: 10fA to 1A 100nV to 1000V |
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電容測試 |
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測試儀表 |
商用儀表 |
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測試功能 |
C/G |
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測試頻率 |
1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz |
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測試范圍 |
1fF to 100nF |
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常規(guī)直流偏置 |
±40 V |
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高壓直流偏置 |
±3000 V |
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差分電壓測試 |
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測試儀表 |
商用儀表 |
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測試范圍 |
1μV to 100V |
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高速脈沖信號產(chǎn)生 |
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信號發(fā)生器 |
Semight S3023P |
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信號幅度 |
±40V（開路）, ±20V（50Ω負(fù)載） |
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信號頻率 |
0.1Hz to 10MHz |
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信號脈寬 |
60ns to (脈沖周期 - 60ns) |
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信號邊沿 |
20ns（Vamp < 5V, 負(fù)載開路） |
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信號分析 |
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分析儀表 |
商用儀表 |
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頻率范圍 |
9K to 10M Hz |
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低壓低漏電流開關(guān)矩陣 |
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開關(guān)矩陣 |
Semight RM1010-LLC |
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輸出通道 |
x12, x24, x36, x48 |
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輸入接口 |
最高支持8端口同時(shí)輸入，其中兩端口支持電漏電流輸入 |
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最高14端口輸入，包含兩個(gè)四選一端口用于外部儀表的串行測試 |
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垂直型高壓開關(guān)矩陣 |
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開關(guān)矩陣 |
Semight RM1012-HV |
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輸出通道 |
x1 |
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輸入接口 |
最高支持4端口輸入，2通道低壓（200V）,1通道高壓（3500V）,1通道CMU輸入，內(nèi)置CMU HV-bias可達(dá)3000V |
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通用型高壓開關(guān)矩陣 |
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開關(guān)矩陣 |
Semight RM1013-HV |
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輸出通道 |
x8, x16, x24，CHUCK |
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輸入接口 |
最高10端口輸入，6端口同時(shí)輸入，包含兩個(gè)三選一端口用于外部儀表的串行測試，兩端口輸入電壓達(dá)3500V |
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