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晶圓級老化

AL3500A

晶圓自動上下料系統(tǒng)


AL3500A是配合聯(lián)訊儀器高壓晶圓老化系統(tǒng)WLR3500進行上下料操作，屬于配套設(shè)備，可以輔助操作人員完成晶圓的對位和夾具的自動安裝。

特點

  • 適配產(chǎn)品

    4-6寸晶圓自動Load/Unload
    產(chǎn)品厚度>150 um

  • 數(shù)量

    晶圓數(shù)量≤25 pcs
    夾具數(shù)量≤6 pcs

  • 裝載速度

    <8 min/pcs

  • 扎針定位精度

    ±50 um

功能與優(yōu)勢

  • 系統(tǒng)架構(gòu)

產(chǎn)品特性 使用產(chǎn)品封裝 4寸，6寸wafer
系統(tǒng)尺寸 1500 mm(W)×1800 mm(H)×1400 mm(D)
系統(tǒng)功耗 3 kW
技術(shù)指標(biāo) 晶圓數(shù)量 ≤25 pcs
夾具數(shù)量 ≤6 pcs
裝載速度 <8 min/pcs
扎針定位精度 ±50 um

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