高精度臺(tái)式源表
S2036H
雙通道精密電源/測(cè)量單元
聯(lián)訊儀器 S2036H精密電源/測(cè)量單元是緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的雙通道臺(tái)式電源/測(cè)量單元(SMU)，它擁有寬泛的電壓源(±200V)和電流源(±1A直流和±3A脈沖)功能，出色的精度，6位半的顯示(最低1fA/100nV顯示分辨率)以及卓越的彩色LCD圖形用戶界面(GUI)。
特點(diǎn)
高量程
量程：±200 V、±1 A（直流）、±3A（脈沖）
高分辨率
最小測(cè)量分辨率可達(dá)1 fA/100 nV
高采樣率
最高可支持1M的ADC采樣率
閾值觸發(fā)
硬件高速IO，可實(shí)現(xiàn)閾值觸發(fā)，實(shí)現(xiàn)輸出測(cè)量值和用戶系統(tǒng)的高效交互功能與優(yōu)勢(shì)
直流I-V輸出能力
|
電壓精度 |
量程 |
測(cè)量分辨率 |
精度(1年) ±(%讀數(shù)+ 偏置) |
典型噪聲(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
|
±200 V |
100 μV |
0.03%+10 mV |
0.4 mV |
|
|
±40 V |
10 μV |
0.03%+2 mV |
100 μV |
|
|
±20 V |
10 μV |
0.03%+1 mV |
50 μV |
|
|
±2 V |
1 μV |
0.03%+100 μV |
10 μV |
|
|
±0.6 V |
100 nV |
0.03%+50 μV |
2 μV |
|
|
溫度系數(shù) |
±(0.15 × 精度指標(biāo))/℃ (0℃-18℃， 28℃-50℃) |
|||
|
設(shè)置時(shí)間 |
<50 μs (典型值) |
|||
|
過(guò)沖 |
<±0.1% (典型值，Normal，步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試) |
|||
|
噪聲10Hz-20MHz |
20V電壓源，1A電阻負(fù)載，<5 mVrms |
|||
|
電流設(shè)置精度 |
量程 |
測(cè)量分辨率 |
精度(1年) ±(%讀數(shù)+偏置) |
典型噪聲(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
|
±3 A1 |
1 μA |
0.03% + 2mA |
20 μA |
|
|
±1 A |
100 nA |
0.03% + 90 μA |
4 μA |
|
|
±100 mA |
10 nA |
0.03% + 9 μA |
600 nA |
|
|
±10 mA |
1 nA |
0.03% + 900 nA |
60 nA |
|
|
±1 mA |
100 pA |
0.03% + 90 nA |
6 nA |
|
|
±100 μA |
10 pA |
0.03% + 9 nA |
700 pA |
|
|
±1 μA |
100 fA |
0.03% + 200 pA |
20 pA |
|
|
±10 nA2 |
10 fA |
0.06% +9 pA |
600 fA |
|
|
±1 nA2 |
1 fA |
0.1% +3 pA |
60 fA |
|
|
±100 pA2 |
1 fA |
0.3% +1 pA |
30 fA |
|
|
溫度系數(shù) |
±(0.15 × 精度指標(biāo))/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃) |
|||
|
設(shè)置時(shí)間 |
<100 μs (典型值) |
|||
|
過(guò)沖 |
<±0.1% (典型值，Normal，步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試) |
|||
1，3A量程僅支持脈沖模式，精度為典型值
2，附加規(guī)格條件：NPLC配置10PLC
|
最小可編程脈寬 |
100 μs |
|
脈寬編程分辨率 |
1 μs |
|
脈寬編程精度 |
±10 μs |
|
脈寬抖動(dòng) |
2 μs |
|
脈沖寬度定義 |
如下圖所示，從10%前沿到90%后沿的時(shí)間 |
|
脈沖技術(shù)指標(biāo) |
最大電流限制 |
最大脈沖寬度 |
最大占空比 |
|
1 |
0.1 A/200 V |
DC，無(wú)限制 |
100% |
|
2 |
1 A/20 V |
DC，無(wú)限制 |
100% |
|
3 |
3 A/66.6 V |
1 ms |
5% |
|
4 |
3 A/160 V |
400 μs |
2% |
|
輸出 |
最大輸出 |
典型上升時(shí)間1 |
典型穩(wěn)定時(shí)間2 |
測(cè)試負(fù)載 |
|
電壓源 |
160 V |
800 μs |
1.2 ms |
空載 |
|
5 V |
40 μs |
100 μs |
空載 |
|
|
電流源 |
3A~100 μA |
90 μs |
250 μs |
帶滿載3 |
|
100 μA |
120 μs |
400 μs |
帶滿載3 |
|
|
1 μA |
300 μs |
600 μs |
帶滿載3 |
|
|
10 nA |
5 ms |
10 ms |
帶滿載3 |
|
|
1 nA |
10 ms |
50 ms |
帶滿載3 |
|
|
100 pA |
100 ms |
500 ms |
帶滿載3 |
1，脈沖前沿從10%到90% 所需的時(shí)間。
2，脈沖達(dá)到距離最終值1%的所需的時(shí)間。
3，測(cè)試條件：normal純阻滿載電壓上升到4.5V
|
輸出 |
量程 |
典型輸出建立時(shí)間1 |
測(cè)試條件 |
||
|
Fast2 |
Normal |
Slow |
|||
|
電 壓 源 |
200 V |
<500 μs |
<1 ms |
<2 ms |
在開(kāi)路負(fù)載條件下，達(dá)到距離最終值 0.1% 以內(nèi)所需的時(shí)間。步進(jìn)是范圍10% 至 90%。 |
|
40 V |
<200 μs |
<400 μs |
<900 μS |
||
|
20 V |
<60 μs |
<100 μs |
<500 μs |
||
|
2 V |
<50 μs |
<50 μs |
<50 μs |
||
|
0.6 V |
<50 μs |
<50 μs |
<50 μs |
||
|
電 流 源 |
3 A~1 mA |
<50 μs |
<100 μs |
<0.8 ms |
在normal條件滿載下，電壓輸出達(dá)到6V。達(dá)到距離最終值 0.1% 以內(nèi)（對(duì)于 3 A 范圍，為 0.3 %）所需的時(shí)間。步進(jìn)是范圍的 10%至 90%。 |
|
100 μA |
<100 μs |
<150 μs |
<0.8 ms |
||
|
1 μA |
<300 μs |
<400 μs |
<1 ms |
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10 nA |
<10 ms |
<10 ms |
<10 ms |
||
|
1 nA |
<50 ms |
<50 ms |
<50 ms |
||
|
100 pA |
<500 ms |
<500 ms |
<500 ms |
||
1，輸出轉(zhuǎn)換速率：Fast， Normal， Slow。用戶可自行根據(jù)負(fù)載特性調(diào)節(jié)APFC參數(shù)以獲得合適的建立時(shí)間或穩(wěn)定性。
2，F(xiàn)ast模式在不同的量程或負(fù)載條件下輸出可能會(huì)出現(xiàn)較大過(guò)沖，過(guò)沖敏感設(shè)備建議用normal或者Slow模式。
誤差增加量程的百分比
|
PLC
|
量程 |
|||||||
|
0.6 V |
2 V |
20 V |
40 V |
200 V |
100 pA至 1 μA |
100 μA至 100 mA |
1 A至 3A |
|
|
0.1 |
0.02% |
0.02% |
0.01% |
0.01% |
0.01% |
0.02% |
0.01% |
0.01% |
|
0.01 |
0.30% |
0.30% |
0.30% |
0.03% |
0.02% |
0.20% |
0.02% |
0.02% |
|
0.001 |
3.20% |
3.20% |
3.20% |
0.40% |
0.10% |
2.50% |
0.03% |
0.03% |
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