在半導體元器件生產(chǎn)研發(fā)或者半導體晶圓封測過程中需要進行電性能參數(shù)的表征，這些測量需要將精密源表(Source /Measure Unit），LCR表（LCR Meter），數(shù)字萬用表(Digital Multi-Meter）等多種精密儀器組成自動化測試系統(tǒng)，測量非常低的電流，皮安或更小，測試系統(tǒng)中任何漏電流的存在都會對測試結果造成很大影響。

聯(lián)訊儀器低漏電流開關矩陣RM1010-LLC（Low Leakage Current Switch Matrix）采用了特殊的技術和元器件，能夠有效地抑制電路中的漏電流，提供更高的分辨率和準確度，可以滿足更高級別的測試需求，并且配備了多重保護功能，可防止過載、短路等情況發(fā)生，保護測試儀器和被測件。

1 產(chǎn)品簡介

聯(lián)訊儀器RM1010-LLC 4槽型半導體開關矩陣可支持多種開關矩陣卡，用戶可通過上位機應用軟件便捷切換不同測試通道，迅速搭建測試系統(tǒng)。

RM1010-LLC支持傳統(tǒng)的SCPI命令，讓測試代碼的遷移變得輕松快捷，RM1010-LLC還可支持多機并聯(lián)，便于組建大規(guī)模的測試系統(tǒng)，提高測試效率并降低成本。

2 特點及優(yōu)勢

01 多路輸入輸出

14 路輸入48 路輸出（低泄漏矩陣配置多達 96 交叉節(jié)點）

失調電流小于100fA(低漏電流通道)

03 高速信號測量

高帶寬10 MHz 帶寬（- 3dB）

04 模塊化設計，輕松搭配使用    

模塊化設計支持 x12、x24、x36 和 x48 三軸輸出配置

開關矩陣框圖

3 應用場景

在聯(lián)訊儀器半導體參數(shù)測試系統(tǒng)WAT6200S中,系統(tǒng)將高精度PXIe數(shù)字源表S2012C 與DMM(Digital Multi-meter）、LCR儀表和低泄漏開關矩陣RM1010-LLC結合在一起，以在測試點之間共享資源。

三軸電纜及低漏電流開關矩陣對整個測試過程中維持低泄漏至關重要。

2012C 作為系統(tǒng)I-V測量核心源表 / 三同軸探針卡

半導體參數(shù)測試系統(tǒng)示意圖 / 2012C及RLM1010在WAT6200S中的應用